통합관제시스템

공장 내 Utility를 공급하는 모든 설비에 대한 실시간 감시 및 제어 시스템으로 공조, 외조기, 전력,
수처리 시스템 등을 통칭 하여 FMCS라고 합니다.

주요특징

화면


고객 주도적 시스템 모니터링의 편리성을 높이기 위한 다양한 기법 지원
가시성을 높인 표준화 Symbol로 구성된 HMI 제공
자사 운영 표준에 따르는 사용자 맞춤형 기능 추가 용이
Advanced Process Control을 위한 다양한 확장 옵션 적용가능
협업을 위한 개방성 상위 타 솔루션과의 다양한 인터페이스 지원
다양한 하위 시스템과의 인터페이스를 표준화하기 위한 게이트웨이 구축
운전 노하우를 체계화하여 운전자 간의 집단지성을 극대화하는 시스템 구축
벤더 종속적인 설비들과의 능동적 인터페이스 범용성을 기반으로 능동적인 인터페이스
- WEB/CS/모바일에서 접근 가능한 HMI
- 다양한 통신지원 (Serial[232/485]/Modbus/OPC/S7/Omron등)
인터넷 기반의 다양한 프로토콜 지원



전력감시제어 시스템

“공장 내 사용되는 전력의 공급 상태를 실시간으로 감시 하고 각종 전력 설비를 원격 및 수동으로 제어 함으로써 상시 무 정전 전력 공급을 가능케 하는 시스템 입니다.”

주요특징
수배전감시 및 제어 - 24시간 실시간 모니터링을 통한 전력 품질 향상
- 통합화면으로 나타내어 제어 포인트 시각화
- 차단기 조작 실수 및 오조작 방지
예방진단기능 - 특수한 대상(케이블, 유증가스, 부분방전, 배터리 등)을 감시하여 장애에 대한 사전 예방
디지털 수배전반 - 각종 Digital Meter 통신
- IEC61850 Network 구축 및 통합 감시


가스·케미컬 감시/제어 시스템

“공장 내의 여러 사용처에 Gas & Chemical을 제공하는 공급 설비의 상태와 유해가스 및 화학물질 누출과 같은 위험 상태 발생 유무를 실시간으로 감시함으로써 Gas & Chemical을 안전하게 사용하기 위한 감시 시스템입니다.”

주요특징
대규모가스화학처리 설비감시 - 200 ~ 300개의 감시 포인트를 3D 화면으로 구성하여 감시기능
조기경보시스템 - 다양한 형태의 경보시스템을 통하여 신속한 위험상황 감지 및 대처


HVAC 감시/제어 시스템

“HVAC(Heating, Ventilating and Air Conditioning system) : 제품(반도체)을 제작하기 위한 최적의 온도, 습도, 기류, 환기, 청정도를
최적의 조건으로 만들어 주는 시스템입니다.”

주요특징
감시기능 - 24시간 실시간 모니터링을 통한 최적의 생산 조건 제공
(Class1~100의 높은 청정도를 요하는 Clean Room 환경 유지)
배기자동화제어 외조기 FeedForward제어 - 교체운전 자동화를 통해 교체운전 시간 대폭 감소
- 외조기 앞/뒷단 동시 조합제어를 통한 정밀제어 실현
알람Viewer,LMS발송,InterLock제어 - 다양한 형태의 경보시스템을 통하여 신속한 위험상황 감지 및 대처


초순수 감시/제어 시스템

“UPW(Ultra Pure Water/De-Ionized Water) : 수중(水中) 오염 물질을 전부 제거한 순수한 물로, 반도체 제조공정에서 광범위하게 사용되며,
특히 Wet 공정을 비롯하여 Wafer 세정 및 절단 시 용수로 사용되는 물을 제조 하기 위한 각종 설비를 제어 감시하는 시스템입니다.”

주요특징
UPW감시 및 제어 - 통합된 화면으로 나타내어 제어 포인트 시각화
- Tower 자동 재생 및 RO 자동 Cleaning
조기경보시스템 - 이중화 Network , 이중화 Controller 구성
- Main Controller 와 Loop Controller 간 선택 제어


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